參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日，加急試驗5個工作日,。

注意：因業(yè)務調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個人除外)。

檢測項目

1. 相鄰道間距偏差：測量精度±0.5μm（0.001-10mm量程）

2. 累積誤差率：全行程內(nèi)誤差≤0.02%/100mm

3. 軌道平行度偏差：軸向偏移量≤3μm/300mm

4. 表面粗糙度：Ra值0.1-1.6μm（ISO 4287標準）

5. 溫度穩(wěn)定性：±0.8μm/℃（-20℃至80℃工況）

檢測范圍

1. PCB電路板：導通孔與線路間距（0.05-0.5mm）

2. 直線導軌系統(tǒng)：滾珠循環(huán)軌道（寬度8-50mm）

3. 半導體封裝基板：BGA焊盤陣列（間距0.3-1.27mm）

4. 光學編碼器光柵尺：刻線密度20-100線/mm

5. 精密絲杠副：螺紋導程（2-40mm）

檢測方法

1. ASTM E284-22《Standard Terminology for Surface Analysis》

2. ISO 1101:2017《Geometrical product specifications (GPS)》

3. GB/T 1800.1-2020《產(chǎn)品幾何技術規(guī)范(GPS)線性尺寸公差》

4. ISO 4287:1997《表面結(jié)構(gòu):輪廓法術語定義及表面結(jié)構(gòu)參數(shù)》

5. GB/T 11336-2004《直線度誤差檢測》

檢測設備

1. Mitutoyo CRYSTA-Apex S系列三坐標測量機（三維空間定位精度±1.2+L/300μm）

2. Keyence LM-9000激光位移計（分辨率0.01μm/量程50mm）

3. Zeiss O-INSPECT 322復合式測量系統(tǒng)（光學+接觸式復合探頭）

4. Renishaw XL-80激光干涉儀（線性測量精度±0.5ppm）

5. Taylor Hobson Form Talysurf PGI NOVUS輪廓儀（Z軸分辨率0.8nm）

6. Hexagon Absolute Arm 7軸便攜測量臂（空間精度15μm）

7. Nikon NEXIV VMZ-S656T視頻測量系統(tǒng)（放大倍率35X-220X）

8. Olympus LEXT OLS5000激光共聚焦顯微鏡（橫向分辨率120nm）

9] Agilent 5530動態(tài)校準儀（頻率響應范圍0-100Hz）

10] Panasonic HG-C1050光電編碼器（分辨率1μm/重復精度±2μm）

北京中科光析科學技術研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測周期：7~15工作日,，可加急。

資質(zhì)：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告,。

標準測試：嚴格按國標/行標/企標/國際標準檢測,。

非標測試：支持定制化試驗方案。

售后：報告終身可查,，工程師1v1服務,。

中析儀器 資質(zhì)